In einer vollautomatisierten Ellipsenbahn ist die Zeit zwischen den Trocknungsphasen entscheidend für die Leistung. Wenn die UV-Lampe innerhalb von Millisekunden keine ausreichende Energiedichte liefern kann, muss der Transportbandantrieb warten – dadurch sinkt die Produktivität. Wir haben diese Lampe speziell nach den Anforderungen der Halbleiterlithografie entwickelt, um dieses Problem zu beseitigen. Dadurch wird die Trocknungszeit verkürzt, ohne dass die Qualität der Aushärtung beeinträchtigt wird.
Was messbar ist, ist wichtig. Die Ausgangsstrahlung liegt bei 365 Nanometern – das entspricht der Absorptionsfähigkeit des Photoinitiators in UV-härtbaren Tinten und Photopolymeren. Die maximale Strahlungsintensität beträgt 12.000 mW/cm² auf der Substratoberfläche. In 300 Millisekunden können 800 mJ/cm² Energie abgegeben werden.
Der Reflektor besteht aus hochreinem Aluminium mit einer Dichroikbeschichtung. Dadurch wird die UV-Reflexion auf über 92 % erhöht, während gleichzeitig die IR-Strahlung unter Kontrolle bleibt. Im Inneren befindet sich eine Hochdruck-Quecksilberdampflampe in einer ozonfreien Quarzkapsel. Eine geschlossene Regelung der Stromstärke sorgt dafür, dass die Schwankungen der Leistung unter 3 % bleiben.
Warum das in der Praxis Sinn macht, ist einfach: Wenn man die Trocknungszeit verkürzt, kann man mehr Zyklen pro Stunde durchführen. Wenn die Trocknungszeit um 40 % reduziert wird, kann derselbe Ellipsendrucker mehr Durchgänge pro Schicht durchführen, ohne dass die Aushärtungseigenschaften oder die Haftfestigkeit beeinträchtigt werden. Dadurch sinkt die Anzahl der fehlerhaften Produkte, die Energieverbrauch pro Stück nimmt ab – und die Lebensdauer der Lampe bleibt bei über 5.000 Stunden, wobei der Leistungsabfall weniger als 5 % beträgt.
Ein paar Hinweise für die Praxis: Diese Lampe hat besondere Anforderungen hinsichtlich der Positionierung und Kühlung. Der Abstand zum Substrat muss genau eingehalten werden, und der Luftstrom muss innerhalb von ±10 % des vorgegebenen Wertes liegen – andernfalls entstehen Hotspots und die Lampe altert schneller. Prüfen Sie außerdem unbedingt die elektrische Kompatibilität mit dem Vorschaltgerät und den Steckverbindungen. Ein nicht kompatibles Vorschaltgerät kann das Spektrum verfälschen und somit die Lebensdauer der Lampe verringern.