完全自動化された楕円形スクリーンラインでは、フラッシュ乾燥の時間が作業のペースを決定します。もしUVランプが数ミリ秒以内に十分なエネルギー密度を供給できない場合、コンベヤーは待機を余儀なくされ、その結果、処理速度が低下してしまいます。私たちは、このボトルネックを解消するために、半導体リソグラフィーの要件に合わせてこのランプを開発しました。そうすることで、硬化品質を損なうことなく、フラッシュ時間を短縮することができます。
重要なのは、測定可能な値です。出力は365nmに維持され、これはUV硬化インキやフォトポリマーの光開始剤の吸収波長に合致しています。基板面上でのピーク照度は12,000 mW/cm²に達し、300msの照射時間で800 mJ/cm²のエネルギーを与えることができます。
反射器には高純度アルミニウムが使用されており、二色性コーティングによってUVの反射率を92％以上に保ちつつ、IRによる熱負荷を抑えています。内部には、オゾンフリーの石英容器内にある高圧水銀蒸気ランプがあり、ループ制御によって出力の変動をデューティサイクル全体で3％未満に抑えています。
実際の現場での効果は簡単です。フラッシュ時間を短縮すれば、1時間あたりの処理回数が増えます。フラッシュ時間を40％短縮すれば、同じ楕円形プリンタでも、表面の硬化度や接着性を維持しながら、1シフトあたりの処理回数を増やすことができます。未硬化による不良品が減少し、1個あたりのエネルギー消費量も下がります。また、ランプの寿命も5,000時間以上となり、出力の低下も5％未満に抑えられます。
いくつかの実用上の注意点もあります。このランプは、位置決めや冷却に敏感です。基板との間隔は必ず指定通りに保ち、空気流量も定格値の±10％以内に抑えてください。そうしないと、高温部分が生じ、ランプの寿命が短くなってしまいます。また、バラストやコネクタとの電気的互換性も確認してください。適切でないドライバーを使用すると、スペクトルパターンが乱れ、ランプの寿命が短くなります。