半導体リソグラフィ用UVランプ

完全自動化された楕円形スクリーンラインでは、フラッシュ乾燥の時間が作業のペースを決定します。もしUVランプが数ミリ秒以内に十分なエネルギー密度を供給できない場合、コンベヤーは待機を余儀なくされ、その結果、処理速度が低下してしまいます。私たちは、このボトルネックを解消するために、半導体リソグラフィー...